可完全代替進(jìn)口爐體，優(yōu)質(zhì)加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國外先進(jìn)加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。

設(shè)備特點(diǎn)：

可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步

工藝曲線的自動運(yùn)行控制功能

工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能

自動運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能

可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能

PID參數(shù)自整定功能

工藝氣體的程序控制功能

關(guān)鍵部件全部具有高可靠性

具有良好的人機(jī)界面

系統(tǒng)故障自診功能

停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等

具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償

技術(shù)指標(biāo)：

可配置工藝管外徑2～8英寸

可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺

工作溫度范圍：400～1300℃

恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃

單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h

可控升溫速率：15℃/min

降溫速率：5℃/min