光伏電池的生產(chǎn)過程中，擴(kuò)散爐的相關(guān)部件使用頻繁，導(dǎo)致設(shè)備老化，經(jīng)常出現(xiàn)故障。擴(kuò)散后硅片擴(kuò)散爐異常波動，導(dǎo)致生產(chǎn)線擴(kuò)散環(huán)節(jié)出現(xiàn)很多異常問題，導(dǎo)致PN結(jié)質(zhì)量下降。

為探討擴(kuò)散爐異常的原因，從溫度、排氣、擴(kuò)散程序和流量變化四個方面進(jìn)行了調(diào)查分析。確定擴(kuò)散爐異常是流量計小氮?dú)饬髁慨惓Ｔ斐傻?，通過更換流量計，生產(chǎn)過程恢復(fù)正常。

1.溫度調(diào)查

分析擴(kuò)散爐是否因設(shè)定溫度與實(shí)際溫度相差較大而異常。擴(kuò)散爐各溫區(qū)溫度設(shè)定為850，實(shí)際溫度由輪廓熱電偶檢測。實(shí)際溫度與設(shè)定溫度的差值在允許范圍內(nèi)，溫差沒有異常。

2.排氣篩選

分析擴(kuò)散爐異常是不是排氣異常引起的。用風(fēng)速計測試DF4爐各爐管的排氣。通過測試結(jié)果可以看出，各爐管的排氣都在允許的誤差范圍內(nèi)，差別不大。

3.擴(kuò)散程序

分析爐管性能是否不能滿足擴(kuò)散程序，導(dǎo)致擴(kuò)散爐異常。

4.檢查擴(kuò)散氮?dú)獾牧魉?/p>

分析擴(kuò)散爐異常是否是小氮?dú)饬髁慨惓Ｔ斐傻?。用軟管分別連接DF4-1爐管和DF4-3爐管的氮?dú)庑×髁坑?，將兩根軟管插入盛有水的量杯中，在兩根爐管中設(shè)定相同的氮?dú)庑×髁?，觀察鼓泡情況。

5.檢查擴(kuò)散氧氣的流量

分析擴(kuò)散爐異常是否是氧氣流量異常引起的。將DF4-3爐管的氧氣管道連接到DF4-1爐管，通過DF4-3控制DF4-1的氧氣流量，運(yùn)行HP-M156程序，比較前后的擴(kuò)散爐。這個試片的平均擴(kuò)散爐在改變前為65.5，改變后為64.52，與第二個試片相差不大。可以判斷DF4-1的氧氣流量有沒有異常。

對氮?dú)庑」艿肋M(jìn)行了檢查，檢查結(jié)果正常，推測可能是小氮?dú)饬髁坑嬘袉栴}。將DF4-1爐管的擴(kuò)散溫度和流速調(diào)整為與其他爐管相同。更換小型氮?dú)饬髁坑嫼?，試件結(jié)果是不是正常的。

為了探討爐管擴(kuò)散爐異常的原因，可以從溫度、排氣、擴(kuò)散程序和流量變化四個方面進(jìn)行了調(diào)查分析。確定擴(kuò)散爐異常是流量計小氮?dú)饬髁慨惓Ｔ斐傻模ㄟ^更換流量計，生產(chǎn)過程恢復(fù)正常。對于一條24小時生產(chǎn)線來說，定期檢查和維護(hù)設(shè)備系統(tǒng)的各個部分是非常重要的。當(dāng)產(chǎn)品質(zhì)量出現(xiàn)異常時，要在短的時間內(nèi)進(jìn)行有針對性的調(diào)查，提高解決問題的效率。