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光伏電池的生產(chǎn)過程中，擴(kuò)散爐的相關(guān)部件使用頻繁，導(dǎo)致設(shè)備老化，經(jīng)常出現(xiàn)故障。擴(kuò)散后硅片擴(kuò)散爐異常波動，導(dǎo)致生產(chǎn)線擴(kuò)散環(huán)節(jié)出現(xiàn)很多異常問題，導(dǎo)致PN結(jié)質(zhì)量下降。為探討擴(kuò)散爐異常的原因，從溫度、排氣、擴(kuò)散程...
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擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。 擴(kuò)散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光...
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真空爐，即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使?fàn)t腔內(nèi)壓強(qiáng)小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。簡介...
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在電爐內(nèi)，由于電弧放出的高溫使?fàn)t料熔化和進(jìn)行還原反應(yīng)而生成合金。爐體內(nèi)由爐襯構(gòu)成圓桶形爐膛，三相電極呈正三角形垂直布置在爐膛上部。電極下部是主要反應(yīng)區(qū)，電能通過電弧和電阻轉(zhuǎn)化為熱能。爐膛直徑、深度、電...
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